鍍膜機技術參數

更新時間：2023-03-23 | 點擊率：1961

技術參數：

1. 真空室：∅220mm*H400mm；
2. 可鍍最大工件尺寸：60*60mm,配抽拉式樣品臺，樣品可旋轉；另配備銅基板樣品臺；
3. 真空系統：機械泵+分子泵抽氣系統；極限真空度：優于 5*10-5Pa；
4. 抽氣時間：大氣壓~8*10-4Pa 小于 30min；
5. 蒸發：電阻式蒸發電極（1 對），可達到 1800℃（只要熔點低于 1600 度的都可以蒸鍍）功率：2KW；
6. 開啟方式：正面開門結構，便于換絲及裝料；
7. 水冷循環系統 0.5P；
注：可根據用戶需要進行配置調整！

設備結構介紹：

該設備由真空室、真空機組和電氣系統組成

1. 真空室

圓形形腔體，側部抽氣，正面開門。不銹鋼材質，配 DN60 觀察窗（含防污擋板）、預抽接口、充氣接口；內部有底板、蒸發源等；

2. 真空系統及進氣

采用 110L 分子泵+4L 旋片式機械泵。采用真空波紋管連接，配有復合式數顯真空測量儀表。

3. 電氣系統

電氣系統包括真空機組控制、蒸發與烘烤控制、真空測量控制等部分組成。有安全互鎖機構，有效防止誤操作發生。系統配有 1 套蒸發電源，數顯。

4. 膜厚測量裝置：采用石英晶振膜厚儀及水冷探頭一套（選配）。